Automatisering Gids

Nanotechnologie is een van de speerpunten van het Nederlandse innovatiebeleid. Met meer dan 300 gebruikers is het Van Leeuwenhoek Laboratorium (VLL) een van de grootste onderzoeksinstellingen op dit gebied in Europa. Er zijn stofarme ‘clean rooms’ aanwezig met een totale oppervlakte van 3000 vierkante meter. Ze bieden verschillende klassen van stofvrijheid, met als schoonste omgheving ISO-klasse 5: slechts 100 stofdeeltjes groter dan 0,5 micron per kubieke voet.

Daarnaast is in het gebouw, dat 80 meter lang en 72 meter breed is, nog 6000 vierkante meter vloeroppervlak met laboratoria, werkplaatsen en ruimtes voor experimenten beschikbaar. Een deel van de ruimtes staat op een trillingvrije betonnen plaat die 1 meter dik is en geen direct contact maakt met de rest van de constructie. Dat is nodig omdat zelfs minimale trillingen funest zijn voor het werken op nanoschaal.

Het high-techcomplex in Delft bevat onder meer en geavanceerde lithografie-eenheid. Deze productiestraat, de Lithotrack, kan met een elektronenbundel laagje voor laagje extreem kleine structuren maken met details die kleiner zijn dan 10 nanometer.

Een ander bijzonder onderdeel van het lab is een ‘observatiekoepel’ die licht van zon, maan en sterren naar een vacuumketel met een doorsnede van 1,8 meter leidt. In de ketel worden de omstandigheden in het heelal nagebootst waardoor het bijvoorbeeld mogelijk is gevoelige ruimtevaartinstrumenten te testen en te kalibreren.

Het Van Leeuwenhoek Laboratorium is een gezamenlijk project van de Technische Universiteit Delft en TNO. Wetenschappers, onderzoekers en studenten van verschillende disciplines kunnen in het nieuwe lab samenwerken. Door de aanwezigheid van ‘state of the art’ apparatuur is gebruik van het lab volgens Dirk Jan van den Berg, voorzitter van het College van Bestuur van de TU Delft, ook zeer aantrekkelijk voor het bedrijfsleven.